Compensator
01
Balgcompensator voor het vacuümveld
Productfuncties
Vacuümdichtheid: Dankzij zeer nauwkeurige lastechnologie en een speciale afdichtingsstructuur is lekdichtheid gegarandeerd in hoogvacuümomgevingen van 10⁻⁸ Pa·m³/s tot 10⁻¹¹ Pa·m³/s, waarmee wordt voldaan aan de strenge eisen van industrieën zoals de halfgeleider- en fotovoltaïsche sector.
Verplaatsingscompensatie: Door de elastische vervorming van de balgen worden axiale, laterale en hoekverplaatsingen geabsorbeerd, waardoor spanningsconcentraties in leidingen als gevolg van thermische uitzetting/krimp of trillingen van apparatuur worden voorkomen en de levensduur van de apparatuur wordt verlengd.
Trillings- en geluidsreductie: De flexibele structuur kan trillingen en geluid die door apparatuur zoals vacuümpompen en turbomoleculaire pompen worden overgebracht, effectief verminderen, waardoor de stabiliteit van de systeemwerking wordt verbeterd.
Corrosie- en hoge-temperatuurbestendigheid: Gemaakt van roestvrij staal of speciale legeringen, zijn ze geschikt voor corrosieve gassen (zoals zure gassen in CVD-processen) en omgevingen met hoge temperaturen (-200℃ tot +450℃).
Toepassingsgebied
Halfgeleider- en elektronica-industrie: Gebruikt in vacuümleidingverbindingen voor apparatuur in waferproductie, etsen, coaten (PVD/CVD), enz., waardoor een hoge reinheid en een milieuvriendelijke transmissie wordt gegarandeerd.
Vacuümpompsystemen: Aangesloten op Roots-pompen, roterende schottenpompen, moleculaire pompen, enz., om trillingen en thermische verplaatsingen te compenseren en de afdichtingsprestaties te verbeteren.
Vacuümkleppen en kamerverbindingen: In vacuümcoatingmachines en elektronenbundellasapparatuur fungeren ze als flexibele overgangscomponenten tussen kleppen en kamers, waardoor lekkagerisico's als gevolg van starre verbindingen worden voorkomen.
Wetenschappelijk onderzoek en medische apparatuur: Toegepast in precisie-instrumenten zoals deeltjesversnellers, elektronenmicroscopen en vacuümvriesdrogers om de stabiliteit van hoogvacuümomgevingen te garanderen.
Nieuwe energie- en fotovoltaïsche industrie: gebruikt in processen zoals het coaten van zonnecellen en het vacuümdrogen van lithiumbatterijen, en bestand tegen hoge temperaturen en chemisch corrosieve omgevingen.
Productvoordelen
Geschikt voor hoog vacuüm: Voldoet aan de eisen van ultrahoog vacuüm tot 10⁻¹¹Pa·m³/s zonder gasvorming en daarmee gepaard gaande vervuiling.
Duurzaam ontwerp: Meerlaagse balgconstructie met een vermoeiingsweerstand van ≥10.000 cycli.
Meerdere aansluitmogelijkheden: flenzen (KF/CF), lassen of snelkoppelingen, compatibel met verschillende vacuümnormen (ISO/DIN).
Aanpassingsmogelijkheden: Ondersteuning bij het aanpassen van verschillende kalibers (DN10~DN500), lengtes en speciale materialen (zoals Hastelloy).
Roestvrijstalen vacuümbalgen zijn essentiële componenten die de efficiënte en stabiele werking van vacuümapparatuur garanderen. Ze zijn geschikt voor industrieel en wetenschappelijk onderzoek met hoge eisen aan reinheid en precisie. Neem voor technische specificaties of hulp bij de selectie contact op met ons professionele team!